Fonte de alimentación RF da serie RHH

Descrición curta:

A fonte de alimentación de RF da serie RHH baséase nunha tecnoloxía de xeración de RF madura para proporcionar aos clientes unha fonte de alimentación de RF con maior potencia, maior precisión e resposta rápida. Con fase que se pode configurar, pulsos controlables, sintonización dixital e outras funcións. Campos aplicables: industria fotovoltaica, industria de pantallas planas, industria de semicondutores, industria química, laboratorio, investigación científica, fabricación, etc.
Procesos aplicables: deposición química de vapor mellorada por plasma (PECVD), gravado por plasma, limpeza por plasma, fonte de ións de radiofrecuencia, difusión por plasma, pulverización catódica por polimerización por plasma, pulverización catódica reactiva, etc.

Detalle do produto

Etiquetas do produto

Envíanos un correo electrónico

Características

● Estilos de montaxe de medio ladrillo e en rack
● Adopta un control dixital completo, cun menú de operación cómodo e rico
● Funcións de sintonización de frecuencia, pulsos e sincronización de pulsos
● Con función de sincronización de fase CEX
● Función de protección perfecta

Detalle do produto

Entrada	Tensión de entrada: CA 220 V ± 10 % 3Φ CA 380 V ± 5 % (pódense personalizar as especificacións especiais)
Entrada	Frecuencia de entrada: 47~63 Hz
Saída	Frecuencia de saída: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Rango de sintonización: ±5%
	Potencia de saída: 1,5~5 kW
	Rango de regulación da potencia de saída: 1~100%
	Impedancia de saída: 50 Ω + j0
	Interface de saída: tipo N
	Modo de saída: continuo, pulso
	Frecuencia de pulso: 100 Hz ~ 100 kHz
	Ciclo de traballo: 5~95%
Índice de rendemento	Factor de potencia: 0,98
	Precisión da estabilidade de frecuencia: ±0,005%
	Eficiencia: 75 % (á potencia nominal)
	Harmónico: <45dBc
	Parásito: <50 dBc
	Interface de control externo: cantidade analóxica, comunicación e sincronización
	Modo de comunicación: Interface de comunicación RS485 estándar; Ether CAT opcional, Ethernet industrial, etc.
Nota: o produto continúa a innovar e o rendemento continúa a mellorar. Esta descrición de parámetros é só para referencia.