Fonte de alimentación RF
-
Fuente de alimentación RF serie RLS
A fonte de alimentación de RF da serie RLS adopta o amplificador de potencia estable e fiable actual e o sistema de control de CC básico da empresa, para que o produto teña un rendemento moi estable e unha alta fiabilidade.Adopte a interface de visualización en chinés e inglés, fácil de operar.Utilizado principalmente na industria fotovoltaica, industria de pantallas planas, industria de semicondutores, industria química, laboratorio, investigación científica, fabricación, etc.
-
RMA Series Matchers
Pódese adaptar á fonte de alimentación de RF da serie RLS e úsase amplamente en gravado con plasma, revestimento, limpeza de plasma, desgomado por plasma e outros procesos.Cando se usa só, pódese usar xunto con fontes de alimentación de RF doutros fabricantes.
-
Fuente de alimentación RF serie RHH
A fonte de alimentación de RF da serie RHH depende da tecnoloxía de xeración de RF madura para ofrecer aos clientes unha fonte de alimentación de RF con maior potencia, maior precisión e resposta rápida.Con fase pódese configurar, control de pulso, sintonización dixital e outras funcións.Campos aplicables: industria fotovoltaica, industria de pantallas planas, industria de semicondutores, industria química, laboratorio, investigación científica, fabricación, etc.
Procesos aplicables: deposición de vapor químico mellorada por plasma (PECVD), gravado por plasma, limpeza de plasma, fonte de ións de radiofrecuencia, difusión de plasma, pulverización de polimerización de plasma, pulverización reactiva, etc.