Fonte de alimentación de pulverización catódica de media frecuencia da serie MSB

Descrición curta:

A serie MSB confía na súa excelente tecnoloxía de modulación de forma de onda para emitir DC, pulso DC, onda cadrada bidireccional, onda trapezoidal bidireccional e outras formas de onda.O produto ten forma de onda de saída axustable, frecuencia de saída seleccionable, ciclo de traballo axustable e control de potencia preciso.Así como baixo almacenamento de enerxía e resposta rápida ao arco.Proporcione un control cómodo e preciso para o proceso de revestimento.Os produtos utilízanse principalmente en varios procesos de fabricación de películas finas, industria de células solares e industria de revestimentos ao baleiro;procesos de aplicación: proceso de sputtering con magnetrón, sputtering con dianas xemelgas e PECVD tubular.

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Envíanos un correo electrónico

características

Instalación de rack
Resposta rápida do arco, tempo de resposta <100 ns
Baixo almacenamento de enerxía, <0,5 mJ/KW
Tecnoloxía PFC intercalada multifásica, o factor de potencia é tan alto como 0,95
Pódense seleccionar varios modos de saída, modos continuos e intermitentes
O circuíto inversor adopta a tecnoloxía de conmutación suave completa e utiliza o Semicondutor SiC de terceira xeración como dispositivo de potencia, cunha excelente eficiencia
Detección precisa de arco, múltiples métodos de monitorización dispoñibles