Fonte de alimentación de pulverización catódica de media frecuencia da serie MSB

Descrición curta:

A fonte de alimentación de RF da serie RHH depende da tecnoloxía de xeración de RF madura para ofrecer aos clientes unha fonte de alimentación de RF con maior potencia, maior precisión e resposta rápida.Con fase pódese configurar, control de pulso, sintonización dixital e outras funcións.Campos aplicables: industria fotovoltaica, industria de pantallas planas, industria de semicondutores, industria química, laboratorio, investigación científica, fabricación, etc.

Procesos aplicables: deposición de vapor químico mellorada por plasma (PECVD), gravado por plasma, limpeza de plasma, fonte de ións de radiofrecuencia, difusión de plasma, pulverización de polimerización de plasma, pulverización reactiva, etc.

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Envíanos un correo electrónico

características

● Estilos de montaxe en bastidor e medio ladrillo

● Adopte un control dixital completo, cun menú de operación cómodo e rico

● Funcións de sintonía de frecuencia, pulso e sincronización de pulsos

● Con función de sincronización de fase CEX

● Función de protección perfecta

Detalle do produto

Entrada	Tensión de entrada: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (as especificacións especiais pódense personalizar)
Entrada	Frecuencia de entrada: 47~63Hz
Saída	Frecuencia de saída: 13,56 MHz 、 27,12 MHz 、 40,68 MHz
	Rango de sintonía: ±5%
	Potencia de saída: 1,5 ~ 5 kW
	Rango de regulación da potencia de saída: 1 ~ 100%
	Impedancia de saída: 50Ω+j0
	Interface de saída: tipo N
	Modo de saída: continuo, pulso
	Frecuencia de pulso: 100Hz~100kHz
	Ciclo de traballo: 5~95%
Índice de rendemento	Factor de potencia: 0,98
	Precisión de estabilidade de frecuencia: ± 0,005%
	Eficiencia: 75% (a potencia nominal)
	Harmónico: <-45 dBc
	Perdida: ＜-50 dBc
	Interface de control externo: cantidade analóxica, comunicación e sincronización
	Modo de comunicación: interface de comunicación estándar RS485;Opcional Ether CAT, Ethernet industrial, etc.
Nota: o produto segue innovando e o rendemento segue mellorando.Esta descrición do parámetro é só para referencia.