Fonte de alimentación de pulverización catódica de media frecuencia da serie MSB
-
Fonte de alimentación de pulverización catódica de media frecuencia da serie MSB
A fonte de alimentación de RF da serie RHH depende da tecnoloxía de xeración de RF madura para ofrecer aos clientes unha fonte de alimentación de RF con maior potencia, maior precisión e resposta rápida.Con fase pódese configurar, control de pulso, sintonización dixital e outras funcións.Campos aplicables: industria fotovoltaica, industria de pantallas planas, industria de semicondutores, industria química, laboratorio, investigación científica, fabricación, etc.
Procesos aplicables: deposición de vapor químico mellorada por plasma (PECVD), gravado por plasma, limpeza de plasma, fonte de ións de radiofrecuencia, difusión de plasma, pulverización de polimerización de plasma, pulverización reactiva, etc.