Fonte de alimentación de pulverización catódica de frecuencia media serie MSB
-
Fonte de alimentación de pulverización catódica de frecuencia media serie MSB
A fonte de alimentación de RF da serie RHH baséase nunha tecnoloxía de xeración de RF madura para proporcionar aos clientes unha fonte de alimentación de RF con maior potencia, maior precisión e resposta rápida. Con fase que se pode configurar, pulsos controlables, sintonización dixital e outras funcións. Campos aplicables: industria fotovoltaica, industria de pantallas planas, industria de semicondutores, industria química, laboratorio, investigación científica, fabricación, etc.
Procesos aplicables: deposición química de vapor mellorada por plasma (PECVD), gravado por plasma, limpeza por plasma, fonte de ións de radiofrecuencia, difusión por plasma, pulverización catódica por polimerización por plasma, pulverización catódica reactiva, etc.