Potencia de microondas
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Fonte de alimentación para microondas
A fonte de alimentación de conmutación de microondas é un novo tipo de fonte de alimentación de microondas baseada na tecnoloxía de inversor de alta frecuencia IGBT. Integra fonte de alimentación de ánodo de alta tensión, fonte de alimentación de filamento e fonte de alimentación de campo magnético (excepto fonte de alimentación de microondas de 3 kW). O magnetrón de onda proporciona condicións de traballo. Este produto úsase en MPCVD, gravado con plasma de microondas, desgomado por plasma de microondas e outros campos.